スパッタリング【sputtering】｜す｜一般用語集｜用語集｜株式会社渡辺

一般用語集

す

項目	スパッタリング【sputtering】
意味	薄膜を形成するための技術の一。金属などに不活性ガスを吹きつけ，それにより弾き出された分子を目的物の表面につける。均一で高品質の膜が形成され，半導体製造過程などで用いられる。