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超高性能エアフィルタ
項目
超高性能エアフィルタ ／ ちょうこうせいのうえあふぃるた
英語
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意味
DOP法効率が99.97%以上の非常に高性能なフィルタで、クリーンルームや放射性物質を扱う所で使われる。この中で標準的な性能のものは「ヘツパ（HEPA）フィルタ」と呼ばれる。より高性能なものに「ウルパ（ULPA）フィルタ」がある。