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電気用語集

ち

超純水

項目 超純水　／　ちょうじゅんすい
英語 ultra pure water　
意味 蒸留およびイオン交換を行い、さらにメンブレンフィルタによるろ過などを行って生成した水。これ以外の方法による超純水製造装置もあり、特に原子力・火力発電、医薬、電子工業などの分野では不可欠である。